第3 0卷第 3期 2 2年 6月 01

粉末冶金技术 Po de ealur y Te hno o y w rM t l g c lg

Vo. 0,No 13 .3

Jn 2 1 u .0 2

高纯钨研究现状及制备工艺方法综述木 刘文胜一龙路平一马运柱 (中南大学粉末冶金国家重点实验室，沙 40 8 )长 103

摘

要：高纯钨具有很高的附加价值，市场前景与集成电路发展密切相关，纯钨的净化是目前高纯钨生 其高

产中的重要研究课题。简要介绍了国内外高纯钨的生产现状、备工艺及其纯度表征，此基础上进行了展制在 望。

关键词：纯钨；电子；高微钨靶；化；炼净精

Re e r h a r pa a i n m e h d o g p iy t ng t n s a c nd p e r to t o s f r hi h ur t u s e Li e h ng,Lon Lupi u W ns e g ng,M a Yunz hu

( tt yL b rtr o o e tl ry,C nrl o t ies y h n s a4 0 8 C ia SaeKe a oaoyfrP wd rMeal g u e t uhUnvri,C a gh 1 0 3, hn ) aS t Abs r t Hih p it u se a e ih a de aue,ism a k tp o pe ta d de eo me sco ey r ltd t tac: g ur y t ng tn h s v r hg d d v l y t r e r s c n v l p nti ls l eae o t e eo he d v lpme t f i t g ae cr ui,t p rfc to o hih n o n e r td ic t he u i ain f i g pu t t g t n s n m p ra t e e r h o c n i r y un se i a i o tn r s a c tpi i p o ci n f ih r du to o h g pu iy un se at rt t g t n prs n . n hi p pe e e t I t s a r, t e h pr u to st ai n f od ci n iu to o hih g pu t t n se i r y u g tn, p e r to e h lg c rc e iain o rt r e iwe . r paa in tc noo y, ha a

t rz to fpu iy we e r v e d Ke y wor ds:hih pu iy t g t n; mir e e to is; tng tn ag t g rt un se c o l cr n c u se tr e;pu i c to rf a in;rfni i e i ng

微电子技术中大规模集成电路集成度的提高对材料提出了更高要求，统的 s基器件已不再适传 i用。高纯钨或超纯钨 ( N或 6由于具有高电子迁 5 N)移抗力、温稳定性以及非常高的电子发射系数，高广

属的研发和生产。金属钨由于具有一系列优良的性能是国防、空航天不可或缺的材料。随提纯技术航

的发展，金属钨开始应用在微电子领域，器件微型化程度的提高对钨纯度也提出更高要求。工业发达的国家十分重视高纯金属的研发、产和应用扩展。生

泛用作半导体大规模集成电路的门电路电极材料、 布线材料和屏蔽金属材料。高纯金属钨靶是制造集成电路的基本材料之一，市场前景与集成电其路发展密切相关；钨靶纯度不高，造成大规模集若将成电路的作业可靠性降低，至产生泄电现象。采甚用高纯钨，可减少甚至消除有害杂质的影响，高终提端产品的性能。研究高纯钨的净化工艺对提高相关产品质量有重要意义，目前国内高纯钨生产中的是 重要课题。

日本作为尖端电子工业中心，在上世纪 4早 O年代， 就开始了关于高纯金属的研制与开发，目前已经

成为生产高纯钨及其相关产品的产业大国；关公相司主要有日立金属、友化学、菱金属等。2 0 住三 05 年，日本一家冶金公司研制出一种纯度为 6 N的钨

靶材；材料经高温处理后具有良好的耐热性和该

与氧化钽的相容性，可取代二硅化钼和二硅化钨作 为布线材料。美国也大量生产和消耗高纯钨及相关材料，申请了多项相关专利。美国专利 4 9 4 0 V 020 ( .

1国内外高纯钨的研究现状 二战后由于原子能的需要引发了一系列高纯金 国家自然科学基金资助项目 (0 7 0 8 57 4 9 ) }刘文胜 ( 97一)男，士，授。 16,博教

Z rnk等申请 )出了从黑钨矿中生产高纯钨化 b

a e提 合物的方法；国专利 4 6 6 5 Hi siE d美 7 2 9 ( r h n o等申 o

}}}通讯作者：路平 ( 95一)女，士生。E m i m _l@ 13 cm龙 18,博— a:z rl l p 6.o 收稿日期： 1 2 1—1 2 0 0— 6